p>Московский институт электронной техники (МИЭТ) заключил с Минпромторгом контракт стоимостью 670 млн рублей на разработку концепции безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника». Аналогов этой установке в мире нет, зато задел для создания её есть и создан он в России несколько лет назад. Роль фотошаблона у такого сканера будет играть массив микрозеркал на основе матриц МЭМС, а детализация достигнет 28 нм и меньше.

Источник: 3DNews