p>Технологические нюансы таковы, что почти для каждого нового техпроцесса TSMC вынуждена строить новое предприятие. Fab 18, на которой начался выпуск 5-нм изделий, сочетает шесть производственных корпусов. Здесь может ежегодно выпускаться до одного миллиона кремниевых пластин с 5-нм компонентами, как заявила TSMC на недавнем мероприятии.

К массовому производству 5-нм продукции Fab 18 приступила во втором квартале этого года, хотя строительство фабрики началось лишь в январе 2018 года. Сайт AnandTech сообщает, что к концу текущего года TSMC увеличит объёмы производства 5-нм продукции до 11 % от совокупного. Ранее представители TSMC признавались, что в показателях выручки 5-нм продукция к концу года будет определять до 10 % консолидированной выручки компании.

Этот же источник поясняет, что плотность дефектов при производстве 5-нм изделий на конвейере TSMC сейчас ниже, чем на аналогичном этапе жизненного цикла 7-нм техпроцесса. Не исключено, что это может объясняться более интенсивным использованием слоёв, обрабатываемых при помощи сверхжёсткого ультрафиолетового излучения (EUV). Переход на этот метод обработки уменьшает количество технологических этапов, на каждом из которых могут неизбежно возникать дефекты.